微細化と高集積化が進む半導体パッケージ基板や電子部品の外観検査に最適


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「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ」

株式会社ニコンは、産業用カメラレンズ「Rayfact（レイファクト） RF3-6x可変倍率レンズ」と「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」を発売します。「Rayfact」のRFシリーズは、半導体ウェハやフラットパネルディスプレイ（FPD）基板の微細パターン検査に適しており、高画素数のラインセンサーカメラ※1や大型エリアセンサーカメラ※2に対応した産業用カメラレンズです。
今回発売する「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ」、「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」は、次世代半導体パッケージやマイクロLEDパネルの微細パターンなど、高精度な外観検査向けに設計されています。従来製品に比べ、分解能と明るさが向上しており、微小な欠陥の検出に高いパフォーマンスを発揮します。さらに、「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」は、さまざまな検査用途や使用環境を想定し、落射照明に最適化した光学系を採用しています。

なお、本製品は、「第39回 ネプコン ジャパン」（期間：2025年1月22日～24日、場所：東京ビッグサイト）にて出展します。

※1 光を受ける感光部が1列（リニア）に配置されたセンサーを備え、検査対象全体を走査して撮影する検査用カメラ。
※2 光を受ける感光部が面（エリア）となっているセンサーを備え、検査対象全体を分割して撮影する検査用カメラ。

主な特長
・1本のレンズで3倍から6倍まで倍率範囲の変更が可能
・使用倍率全域において少ない性能差を確保
・イメージサークルΦ82mm、高解像度大型ラインセンサー※カメラの性能を最大限に引き出す光学設計
・F1.8で明るく鮮明な撮影が可能
・物体側へのプリズム配置を想定した光学最適化タイプを準備（同軸落射：厚み30mm）
・絞り・フローティング機構を外部駆動にて操作できるよう、絞りリング・フローティングリングにギアを搭載

※大型ラインセンサー：3.5μ×23K / 5μ×16K対応




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